1.X射线衍射仪开循环低温实验台（该设备提供给中国科学院物理研究所）

设备说明：：

LT-XRD-RKX射线低温衍射实验台采用液氦开循环制冷方式，给衍射样品提供低温试验环境。设备样品处最低温度10K。此样品台顶部安装有超薄铍金属半球X射线窗口，对X射线衍射有°的接收角。该实验台特别适合配备有面探测器的变温薄膜面内X射线衍射实验。

设备特点：

样品台温度范围：10-k。

控温精度：±0.1k，PID参数自动调节控温。

样品台放置样品大小：外径＜15mm。

样品腔与冷头真空管用波纹管连接；Z方向允许最大位移量±3mm。

样品台与冷头柔性连接：震幅RMS10nm。

预留外接Feedthough：可扩加变温条件下电学输运测量功能。

2.CCD三维扫描系统（该设备提供给中国科学院国家天文台）

设备说明：

CCD三维扫描系统用于测量判断大尺度拼接CCD的平整度。

设备组成：

YZCCD成像面内高精度运动扫描机构

X方向高精度探测器调节机构

大尺度，高平整度参考平面

运动控制系统

3.变温真空摩擦学测量装置（该设备提供给清华大学）

设备说明：

在超高真空（模拟太空环境）下进行摩擦学测量。它能够实现在改变摩擦副之间的相对运动速度、压力以及环境温度和环境气氛等条件下，对样品施展摩擦学相关的研究。

设备特点：

获取超高真空；

进行原位传样；

控制实验环境温度（-~+°）；PID控制精度±1°；

PID控制精度±1°；

改变摩擦副之间的压力（1~10N）；

改变摩擦副之间的相对转数（0~rpm）；

提供特定的气氛环境。

4.UFO圆形互联系统（该设备提供给南方科技大学）

设备特点：

最大可与8个设备互联

样品自动抓取并自动传递

直线段和圆形系统混合使用

左图为圆形系统连接3个腔体传样

5.金刚石型谱学测量系统（该设备提供给中国科学院高能物理研究所）

设备特点：

多通道可拼接真空腔体

微米级高精度XBPM二维调节滑台，真空兼容

高分辨率荧光靶运动机构，可实现快速对光

不同厚度金刚石任意组合，操作更方便

6.脉冲激光沉积腔体系统（该设备提供给中国科学院高能物理研究所）

设备说明：

脉冲激光沉积腔体系统（PLD系统）是一个基于不锈钢圆形腔室的真空设备。该腔室多个法兰口可安装实验配件，包括RHEED、发射光谱、高温测定、薄膜沉积晶振等，实现对薄膜生长速率的控制。该设备主要包括真空系统、磁耦合转靶机构，高温加热伸缩机构。

7.空间分辨型漂移管（该设备提供给中国工程物理研究院激光聚变研究中心）

设备说明：

三段式空间分辨型漂移管，该系统由螺线管和真空光电管等两部分组成。

8.强电磁加固气室（该设备提供给中国工程物理研究院激光聚变研究中心）

设备说明：

分幅相机用强电磁加固气室腔体，是抗辐射加固型分幅相机的重要组件，包含气室腔体、屏蔽体、胶片暗盒、冷却板、氚防护组件、部件支撑结构、光锥耦合组件等七部分。

9.同步辐射带通精密标定器（该设备提供给中国工程物理研究院激光聚变研究中心）

设备说明：

同步辐射带通精密标定器主要用于在同步辐射装置上，由六自由度平台进行带通器件的精密标定。

10.低温大温变关节轴承测试平台（该设备提供给清华大学）

功能介绍：

11.超低温摩擦磨损试验及原位观测系统（该设备提供给清华大学）

设备说明：

可在真空低温环境下进行材料销盘／球盘旋转式摩擦磨损试验。

设备特点：

可在充氮气、氨气等其他气氛环境进行材料销盘／球盘旋转式摩擦磨损试验；

控制实验环境温度（60k~k)；最低温度可到50k；

温度传感器：至少8路温度测量；

控温方式：可实现单测温点反馈控温及多测温点平均值反馈控温；

试验模式：具有标准试验和原位观测两种试验模式；两种模式下均可实现摩擦系数的高精度测量，原位观测模式还可进行下样品磨痕的原位观测；

试验载荷范围1~N,载荷测量精度全量程范围优于1%;下试样盘极限转速0rpm;

12.真空镀膜设备自动传递系统

设备说明：

用于真空镀膜工艺腔批量性传递镀膜基片，使得工艺腔保持中真空以上的真空度，节省了抽真空时间，大大提高了生产效率。可实现上片-传递-工艺镀膜-换片单步骤的自动化生产。